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上官七七金蟲 (小有名氣)
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[求助]
薄膜沉積過程中的擴(kuò)散速率和沉積速率比較
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| 用MC模擬薄膜生長時(shí)，擴(kuò)散速率遠(yuǎn)大于沉積速率（一個(gè)約1e-6量級(jí)，一個(gè)1e-11量級(jí)），在比較速率倒數(shù)時(shí)，總要發(fā)生數(shù)萬個(gè)擴(kuò)散事件才能發(fā)生下一次沉積（至少在沉積之初是這樣），這樣導(dǎo)致計(jì)算量非常大（數(shù)萬個(gè)原子，如果再每個(gè)原子擴(kuò)散數(shù)萬次就太可怕了），這個(gè)問題該怎么解決，又或者是我在建模各個(gè)事件概率模型時(shí)需要加入怎樣的考慮呢！謝謝大家的討論和幫助，祝天天向上！ |
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御劍江湖(金幣+2): 鼓勵(lì) 2011-08-26 20:50:58
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沉積事件發(fā)生的時(shí)間為 tDepo = 1/(rateDepo*dimensionX*dimensionY)； 擴(kuò)散事件發(fā)生時(shí)間為： tDiff = 1/Σ(V)；V為不同擴(kuò)散事件發(fā)生的速率 假定沉積速率為10ML/s，dimensionX = dimensionY =10mm, 則tDepo約為0.1cm^2/s^-1 擴(kuò)散速率根據(jù)文獻(xiàn)中采用的表面原子擴(kuò)散速率與配位數(shù)關(guān)系，#不同配位原子數(shù)時(shí)的擴(kuò)散速率前置因子(cm^2/s)，順序?yàn)镹N=0，1，2，3 4.6e-4 5.2e-3 4.4e-3 1.0e-3 #不同配位原子數(shù)時(shí)的擴(kuò)散激活能(eV)，順序?yàn)镹N=0，1，2，3 0.1 0.53 0.28 0.60 由于是個(gè)指數(shù)關(guān)系，結(jié)果那個(gè)擴(kuò)散能影響非常大，算出來tDif的量級(jí)約為1e-6 |
4樓2011-08-19 16:00:38
2樓2011-08-19 05:46:49
上官七七
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御劍江湖(金幣+2): 鼓勵(lì) 2011-08-26 20:51:51
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什么圖？可現(xiàn)在是算都算不出來結(jié)果 實(shí)在要花太長時(shí)間！ while(SurAtoms.size()<1e4) { //執(zhí)行沉積事件,原子總數(shù)加一 atomsCOOR = DeposEvent.Launch(Flag); atom.SetAtomPos(atomsCOOR[0],atomsCOOR[1],atomsCOOR[2]); SurAtoms.push_back(atom); //判斷沉積時(shí)間是否大于擴(kuò)散所需時(shí)間 if(!depORdif.DepOrDif(SurAtoms,Flag))//bool變量為非,沉積時(shí)間大于擴(kuò)散時(shí)間，執(zhí)行擴(kuò)散事件 { delta = depORdif.GettDepo();//將沉積速率倒數(shù)賦予delta while(delta>0) { index = SurDif.DeterminWhichClass(SurAtoms,Flag);//選擇執(zhí)行擴(kuò)散事件的原子 SurAtoms[index].surfDiffuse(Flag);//執(zhí)行擴(kuò)散事件，并更新flag列表 delta -= (1/SurDif.GetTotal());//沉積時(shí)間進(jìn)行更新，減去擴(kuò)散時(shí)間 } } |
3樓2011-08-19 15:51:50
5樓2011-08-26 09:40:07
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