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磁控濺射靶材bondig 已有10人參與
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磁控濺射靶材的綁定一般用銦（In）膠將靶材與Cu板粘住。 如果濺射過程中基板要求加熱的話，比如600攝氏度，In膠還能用嗎？熔點(diǎn)才156.61℃。是不是要改用銀漿bonding呢？ |
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Yang_lihui
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