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求助：傅氏轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀是用來(lái)干什么用的？
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| 傅氏轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀是用來(lái)干什么用的？ |
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tyhjqxbz
主管區(qū)長(zhǎng) (文壇精英)
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【答案】應(yīng)助回帖
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木蟲(chóng)/panda(金幣+1): 度娘那來(lái)的:D 還是感謝應(yīng)助 2011-09-15 08:59:38
木蟲(chóng)/panda(金幣+1): 度娘那來(lái)的:D 還是感謝應(yīng)助 2011-09-15 08:59:38
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用于半導(dǎo)體制造業(yè)。FTIR乃利用紅外線光譜經(jīng)傅利葉轉(zhuǎn)換進(jìn)而分析雜質(zhì)濃度的光譜分析儀器。 目的：·已發(fā)展成熟，可Routine應(yīng)用者，計(jì) 有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預(yù)測(cè)。 B.芯片之含氧、含碳量預(yù)測(cè)。 C.磊晶之厚度量測(cè)�！� 發(fā)展中需進(jìn)一步Setup者有： A.氮化硅中氫含量預(yù)測(cè)。 B.復(fù)晶硅中含氧量預(yù)測(cè)。 C.光阻特性分析。FTIR為一極便利之分析儀器，STD的建立為整個(gè)量測(cè)之重點(diǎn)，由于其中多利用光學(xué)原理、芯片狀況（i.e.晶背處理狀況）對(duì)量測(cè)結(jié)果影響至鉅。 目前所有的紅外光譜儀都是都是傅里葉變換型的，光譜儀主要由光源（硅碳棒、高壓汞燈）、邁克爾遜干涉儀、檢測(cè)器和干涉儀組成。而傅里葉變換紅外光譜儀的核心部分是邁克爾遜干涉儀，把樣品放在檢測(cè)器前，由于樣品對(duì)某些頻率的紅外光產(chǎn)生吸收，使檢測(cè)器接受到的干涉光強(qiáng)度發(fā)生變化，從而得到各種不同樣品的干涉圖。這種干涉圖是光隨動(dòng)鏡移動(dòng)距離的變化曲線，借助傅里葉變換函數(shù)可得到光強(qiáng)隨頻率變化的頻域圖。這一過(guò)程可有計(jì)算機(jī)完成。 用傅里葉變換紅外光譜儀測(cè)量樣品的紅外光譜包括以下幾個(gè)步驟： 1)、分別收集背景（無(wú)樣品時(shí)）的干涉圖及樣品的干涉圖; 2)、分別通過(guò)傅里葉變換將上述干涉圖轉(zhuǎn)化為單光束紅外光； 3)、將樣品的單光束光譜處以背景的單光束光譜，得到樣品的透射光譜或吸收光譜。 編輯本段FTIR（受抑全內(nèi)反射） 全內(nèi)反射：當(dāng)光從光密媒質(zhì)進(jìn)入光疏媒質(zhì)且入射角大于臨界角時(shí)，在兩媒質(zhì)交界處將發(fā)生光的全內(nèi)反射。 如果將疏媒質(zhì)的厚度控制到非常薄，例如使兩塊直角棱鏡的底面靠得很近，那么，即便在全反射角度的情況下，透射光依然是可以取出的，亦即全反射受到抑制。 人們已經(jīng)做過(guò)大量的實(shí)驗(yàn)來(lái)研究受抑全反射現(xiàn)象，早在 1897年 J. C. Bose就通過(guò)實(shí)驗(yàn)證實(shí)這一現(xiàn)象的存在。 1902年，霍爾從實(shí)驗(yàn)和理論兩方面解釋說(shuō)明了這一現(xiàn)象，研究了在不同材料中光的穿透距離和入射角、偏振方向的關(guān)系。同時(shí)，他還對(duì)透射系數(shù)進(jìn)行了理論計(jì)算。 受抑全反射現(xiàn)象具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。它的發(fā)現(xiàn)推動(dòng)了光譜學(xué)的發(fā)展，開(kāi)辟了一門新的學(xué)科——表面非線性光學(xué)。 最近幾年，人們利用受抑全內(nèi)反射 FTIR技術(shù)制作出了多點(diǎn)輸入觸摸屏。 FTIR效應(yīng)的發(fā)生要求空氣薄膜厚度必須在波長(zhǎng)范圍內(nèi)。受抑全反射的透射率隨空氣薄膜厚度的增加而減小，當(dāng)隨著空氣薄膜厚度從0增加到一個(gè)波長(zhǎng)數(shù)量級(jí)左右時(shí)，透射率從 100%幾乎下降到 0；在薄膜厚度一定的情況下，增大入射角或選用大折射率的材料，都會(huì)使透射率減小。而入射光如果采用可見(jiàn)光，由于可見(jiàn)光波長(zhǎng)比較小，在實(shí)驗(yàn)中只能觀察到呈指數(shù)衰減部分的變化。 編輯本段FTIR在多點(diǎn)觸摸技術(shù)上的應(yīng)用 觸摸技術(shù)的突破是從FTIR（Frustrated Total Internal Reflection，受抑全內(nèi)反射）技術(shù)開(kāi)始的，這份功勞歸功于紐約大學(xué)的Jeff Han。 在了解了大概的歷史之后，我們現(xiàn)在動(dòng)手來(lái)做我們自己的FTIR多點(diǎn)觸摸桌（Multi Touch Table）。 首先，我們需要了解一下基本原理： 紅外LED（IR LED）發(fā)射紅外線進(jìn)入亞克力板（Acrylic），當(dāng)亞克力面板的厚度大于8mm時(shí)，光線會(huì)發(fā)生在亞克力內(nèi)不停反射，而不會(huì)跑出來(lái)，這就叫做全內(nèi)反射（Total Internal Reflection），但當(dāng)你的手指（或者其他材質(zhì)如硅膠等有一定韌性和反射性的材料）碰到亞克力表面時(shí)，全內(nèi)反射（Total Internal Reflection）被破壞，光線被手指反射出來(lái)，此時(shí)，亞克力下方正好有紅外攝像頭（IR Camera）捕捉到手指反射的亮點(diǎn)，攝像頭捕捉到的亮點(diǎn)會(huì)送到計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理，形成輸入，有幾個(gè)亮點(diǎn)，就形成幾個(gè)輸入點(diǎn)。FTIR 多點(diǎn)觸摸（FTIR Multi Touch)的原理就是這樣。[1] |
2樓2011-09-15 08:55:00
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