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求助:傅氏轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀是用來干什么用的?
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| 傅氏轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀是用來干什么用的? |

主管區(qū)長 (文壇精英)
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用于半導(dǎo)體制造業(yè)。FTIR乃利用紅外線光譜經(jīng)傅利葉轉(zhuǎn)換進而分析雜質(zhì)濃度的光譜分析儀器。 目的:·已發(fā)展成熟,可Routine應(yīng)用者,計 有: A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預(yù)測。 B.芯片之含氧、含碳量預(yù)測。 C.磊晶之厚度量測! 發(fā)展中需進一步Setup者有: A.氮化硅中氫含量預(yù)測。 B.復(fù)晶硅中含氧量預(yù)測。 C.光阻特性分析。FTIR為一極便利之分析儀器,STD的建立為整個量測之重點,由于其中多利用光學(xué)原理、芯片狀況(i.e.晶背處理狀況)對量測結(jié)果影響至鉅。 目前所有的紅外光譜儀都是都是傅里葉變換型的,光譜儀主要由光源(硅碳棒、高壓汞燈)、邁克爾遜干涉儀、檢測器和干涉儀組成。而傅里葉變換紅外光譜儀的核心部分是邁克爾遜干涉儀,把樣品放在檢測器前,由于樣品對某些頻率的紅外光產(chǎn)生吸收,使檢測器接受到的干涉光強度發(fā)生變化,從而得到各種不同樣品的干涉圖。這種干涉圖是光隨動鏡移動距離的變化曲線,借助傅里葉變換函數(shù)可得到光強隨頻率變化的頻域圖。這一過程可有計算機完成。 用傅里葉變換紅外光譜儀測量樣品的紅外光譜包括以下幾個步驟: 1)、分別收集背景(無樣品時)的干涉圖及樣品的干涉圖; 2)、分別通過傅里葉變換將上述干涉圖轉(zhuǎn)化為單光束紅外光; 3)、將樣品的單光束光譜處以背景的單光束光譜,得到樣品的透射光譜或吸收光譜。 編輯本段FTIR(受抑全內(nèi)反射) 全內(nèi)反射:當(dāng)光從光密媒質(zhì)進入光疏媒質(zhì)且入射角大于臨界角時,在兩媒質(zhì)交界處將發(fā)生光的全內(nèi)反射。 如果將疏媒質(zhì)的厚度控制到非常薄,例如使兩塊直角棱鏡的底面靠得很近,那么,即便在全反射角度的情況下,透射光依然是可以取出的,亦即全反射受到抑制。 人們已經(jīng)做過大量的實驗來研究受抑全反射現(xiàn)象,早在 1897年 J. C. Bose就通過實驗證實這一現(xiàn)象的存在。 1902年,霍爾從實驗和理論兩方面解釋說明了這一現(xiàn)象,研究了在不同材料中光的穿透距離和入射角、偏振方向的關(guān)系。同時,他還對透射系數(shù)進行了理論計算。 受抑全反射現(xiàn)象具有廣泛的應(yīng)用價值。它的發(fā)現(xiàn)推動了光譜學(xué)的發(fā)展,開辟了一門新的學(xué)科——表面非線性光學(xué)。 最近幾年,人們利用受抑全內(nèi)反射 FTIR技術(shù)制作出了多點輸入觸摸屏。 FTIR效應(yīng)的發(fā)生要求空氣薄膜厚度必須在波長范圍內(nèi)。受抑全反射的透射率隨空氣薄膜厚度的增加而減小,當(dāng)隨著空氣薄膜厚度從0增加到一個波長數(shù)量級左右時,透射率從 100%幾乎下降到 0;在薄膜厚度一定的情況下,增大入射角或選用大折射率的材料,都會使透射率減小。而入射光如果采用可見光,由于可見光波長比較小,在實驗中只能觀察到呈指數(shù)衰減部分的變化。 編輯本段FTIR在多點觸摸技術(shù)上的應(yīng)用 觸摸技術(shù)的突破是從FTIR(Frustrated Total Internal Reflection,受抑全內(nèi)反射)技術(shù)開始的,這份功勞歸功于紐約大學(xué)的Jeff Han。 在了解了大概的歷史之后,我們現(xiàn)在動手來做我們自己的FTIR多點觸摸桌(Multi Touch Table)。 首先,我們需要了解一下基本原理: 紅外LED(IR LED)發(fā)射紅外線進入亞克力板(Acrylic),當(dāng)亞克力面板的厚度大于8mm時,光線會發(fā)生在亞克力內(nèi)不停反射,而不會跑出來,這就叫做全內(nèi)反射(Total Internal Reflection),但當(dāng)你的手指(或者其他材質(zhì)如硅膠等有一定韌性和反射性的材料)碰到亞克力表面時,全內(nèi)反射(Total Internal Reflection)被破壞,光線被手指反射出來,此時,亞克力下方正好有紅外攝像頭(IR Camera)捕捉到手指反射的亮點,攝像頭捕捉到的亮點會送到計算機進行處理,形成輸入,有幾個亮點,就形成幾個輸入點。FTIR 多點觸摸(FTIR Multi Touch)的原理就是這樣。[1] |

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