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laoyisng1122鐵蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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掃描電鏡 分子泵與擴(kuò)散泵的性能該做如何比較?
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掃描電鏡 求達(dá)到相同真空度的分子泵與擴(kuò)散泵的性能比較 看了論壇中幾個(gè)帖子所說(shuō),分子泵與擴(kuò)散泵的優(yōu)缺點(diǎn)比較,學(xué)習(xí)了不少。不過(guò)又有問(wèn)題揮之不去,比如:在同樣達(dá)到5*10-6真空度的情況下,分子泵與擴(kuò)散泵的性能該做如何比較?分子泵的抽速能趕上擴(kuò)散泵的嗎?功耗應(yīng)該也是分子泵小吧,那么用電量如何呢? |
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種 類(lèi) 油擴(kuò)散泵 渦輪分子泵系統(tǒng) 可獲得最高真空度 10-3~10-4Pa 優(yōu)于10-4Pa 形成污染層速率 30nm/min(10-3Pa) 0.036~0.09nm/min(2×10-4Pa) 開(kāi)機(jī)預(yù)熱時(shí)間 30min 無(wú)需預(yù)熱 關(guān)機(jī)冷卻時(shí)間 30min 無(wú)需 冷卻方式 水冷 風(fēng)冷 能耗 加上冷水機(jī),高的多 估計(jì)相當(dāng)于30% 真空油污染 高 無(wú) 真空管路 復(fù)雜 簡(jiǎn)單 噪音 大(需要隔離機(jī)械泵急冷水機(jī)) 小 (無(wú)需隔離) 單機(jī)價(jià)格 便宜 貴5倍以上 抽速 (都有指標(biāo)) 和設(shè)計(jì)有關(guān) 維護(hù) 更換擴(kuò)散泵油 需要更換潤(rùn)滑油 |
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