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掃描電鏡 分子泵與擴散泵的性能該做如何比較？
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掃描電鏡 求達到相同真空度的分子泵與擴散泵的性能比較 看了論壇中幾個帖子所說，分子泵與擴散泵的優(yōu)缺點比較，學習了不少。不過又有問題揮之不去，比如：在同樣達到5*10-6真空度的情況下，分子泵與擴散泵的性能該做如何比較？分子泵的抽速能趕上擴散泵的嗎？功耗應該也是分子泵小吧，那么用電量如何呢？ |
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2樓2011-09-21 18:18:42
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