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215817861金蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射鍍出的膜周圍導電，膜表面不導電。
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問題如題，我的參數(shù)是Ar30sccm，溫度500度，濺射頻率65W，靶間距75mm，濺射壓強1Pa，濺射時間50min。 小弟在這里謝過各位高手啦 |
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xjtu-sunhl
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215817861
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3樓2011-10-06 22:21:38
xjtu-sunhl
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4樓2011-10-08 10:14:06
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