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215817861金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射鍍出的膜周?chē)鷮?dǎo)電，膜表面不導(dǎo)電。
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問(wèn)題如題，我的參數(shù)是Ar30sccm，溫度500度，濺射頻率65W，靶間距75mm，濺射壓強(qiáng)1Pa，濺射時(shí)間50min。 小弟在這里謝過(guò)各位高手啦 |
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xjtu-sunhl
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2樓2011-10-06 18:27:06
215817861
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3樓2011-10-06 22:21:38
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【答案】應(yīng)助回帖
215817861(金幣+5): 謝謝，感覺(jué)你說(shuō)的很有道理，我建立了個(gè)磁控濺射群，能不能請(qǐng)你進(jìn)來(lái)？群號(hào)：81959334 2011-10-08 10:50:54
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一般情況下，四方形玻璃的切割面也會(huì)被濺射沉積上一層薄膜。薄膜表面不導(dǎo)電可能由于是高溫濺射時(shí)膜表面有些氧化，或者也有可能你取出薄膜時(shí)，薄膜還有一定的溫度導(dǎo)致表面被氧化。 薄膜表面不導(dǎo)電是由薄膜成分決定的，你可以進(jìn)行XRD及EDS測(cè)試分析一下。如果你用四探針測(cè)電阻的話薄膜太薄的話會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果有影響。 |
4樓2011-10-08 10:14:06
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