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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 無機非金屬 » 碳素材料 » 求教關于金剛石膜刻蝕的問題
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[求助]
求教關于金剛石膜刻蝕的問題
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RT， 采用氧離子束對CVD金剛石膜進行刻蝕之后，在SEM圖中發(fā)現(xiàn)在晶粒上出現(xiàn)裂紋，這是為什么？（刻蝕時，基底溫度為600度） 然后拉曼光譜中出現(xiàn)了一些除了金剛石特征峰之外的波包，圖中已標出了對應的波包的大致位置，但不知道對應的是什么，求解釋，最好能有相關的資料或者論文。 刻蝕后1000倍SEM圖 刻蝕后Raman圖，并標出了對應的波包的大致位置 [ 來自科研家族 材料家族 ] [ Last edited by 季巖冰 on 2011-11-8 at 19:05 ] |
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3樓2011-11-09 17:02:33
windyswust
木蟲 (著名寫手)
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- 專業(yè): 等離子體物理
【答案】應助回帖
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Missile521(金幣+1): 鼓勵回帖交流~ 2011-11-09 16:33:47
季巖冰(金幣+5): 謝謝你的回復！ 2011-11-09 17:01:44
Missile521(金幣+1): 鼓勵回帖交流~ 2011-11-09 16:33:47
季巖冰(金幣+5): 謝謝你的回復！ 2011-11-09 17:01:44
| 呵呵 你這個比我的 更奇怪 首先。你制備金剛石的大概的參數(shù)。 比如氣源，你的金剛石的事超納米的還是納米的還是微米的 估計不是微米的 你的 摻雜否？還有 你的1000倍的SEM 看不出來東西吧。氧等離子體一般式用來得到氧終結(jié)的，不知道你用氧刻蝕有什么目的，如果你的事納米金剛石薄膜 里面的SP2相在氧等離子體的影響下很明顯。你可以看看D.M. GRUEN關于raman的分析，你的raman G峰飄逸太多了 |
2樓2011-11-09 15:53:15
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