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liuxiaoyucrd金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
CVD里有燒紅的電阻絲 通入氫氣會(huì)爆炸嗎
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我們自己做了一個(gè)加熱盤(pán)，放在CVD反應(yīng)腔內(nèi)供加熱用。給電阻絲通電后，電阻絲是燒紅的，表面溫度可達(dá)700-900度。電阻絲有一部分是裸露的，可與腔內(nèi)氣體接觸。我們需要通入氫氣做實(shí)驗(yàn)，腔內(nèi)是抽到1Pa左右后開(kāi)始通入氫氣，通入氫氣后壓強(qiáng)可達(dá)50Pa左右。請(qǐng)問(wèn)一下，在這種氣體條件下，氫氣碰到燒紅的電阻絲會(huì)發(fā)生爆炸嗎？ 電阻絲外面用石英管套著，沒(méi)有辦法包嚴(yán)實(shí)，怎么都能與腔內(nèi)氣體接觸。 自己覺(jué)著腔內(nèi)壓強(qiáng)很小，氧氣應(yīng)該沒(méi)有多少了，也許不太可能爆炸。但還是很擔(dān)心，老師又催著做，請(qǐng)各位給點(diǎn)寶貴意見(jiàn) |
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3樓2011-11-22 08:28:28
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