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liuxiaoyucrd金蟲 (小有名氣)
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[求助]
CVD里有燒紅的電阻絲 通入氫氣會(huì)爆炸嗎
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我們自己做了一個(gè)加熱盤,放在CVD反應(yīng)腔內(nèi)供加熱用。給電阻絲通電后,電阻絲是燒紅的,表面溫度可達(dá)700-900度。電阻絲有一部分是裸露的,可與腔內(nèi)氣體接觸。我們需要通入氫氣做實(shí)驗(yàn),腔內(nèi)是抽到1Pa左右后開始通入氫氣,通入氫氣后壓強(qiáng)可達(dá)50Pa左右。請問一下,在這種氣體條件下,氫氣碰到燒紅的電阻絲會(huì)發(fā)生爆炸嗎? 電阻絲外面用石英管套著,沒有辦法包嚴(yán)實(shí),怎么都能與腔內(nèi)氣體接觸。 自己覺著腔內(nèi)壓強(qiáng)很小,氧氣應(yīng)該沒有多少了,也許不太可能爆炸。但還是很擔(dān)心,老師又催著做,請各位給點(diǎn)寶貴意見 |

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