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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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halcyon1988

金蟲 (小有名氣)

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[交流] 磁控濺射鍍ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我們實(shí)驗(yàn)室磁控濺射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后開(kāi)始濺射。最近實(shí)驗(yàn)室磁控濺射儀壞了，只能抽到十的負(fù)三Pa，不知道大家磁控濺射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能開(kāi)始濺射嗎？

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1樓 2011-11-27 15:39:04

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bill_shark

銀蟲 (小有名氣)

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★ ★
halcyon1988(金幣+1):謝謝參與
xjajx(金幣+1): 2011-11-30 19:27:43

真空度當(dāng)然越高越好，如果本地真空低的話，可能做出來(lái)的ZnO里面的氧含量會(huì)有些變化，因?yàn)檎婵帐覂?nèi)吸附的氧氣沒(méi)有完全抽出，就相當(dāng)于在鍍制薄膜時(shí)充氧了。這樣的薄膜透過(guò)率會(huì)有些變化，導(dǎo)電性也會(huì)變。
我們一般也是抽到5e-4Pa開(kāi)始濺射的。
磁控濺射機(jī)壞了？抽不動(dòng)的話估計(jì)是漏氣吧？用酒精檢漏了么？

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3樓2011-11-27 18:24:43

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kingluck

至尊木蟲 (文壇精英)

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★
halcyon1988(金幣+1):謝謝參與

當(dāng)然是越高越好，最好在1點(diǎn)幾乘負(fù)4左右。

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2樓2011-11-27 16:00:09

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ybhan

金蟲 (正式寫手)

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xjajx(金幣+1): 2011-11-30 19:27:52

不認(rèn)為真空度越高愈好！因?yàn)檎婵斩忍偷脑挘ㄔO(shè)速率將非常低，我一般將本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右濺射

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4樓2011-11-28 09:24:55

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flyjiang88

銅蟲 (小有名氣)

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★
halcyon1988(金幣+1):謝謝參與

我們不是濺射的氧化鋅，一般抽到7×10-3A認(rèn)為很好。

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5樓2011-11-28 10:50:23

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