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熱處理后電阻率為什么變大
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各位蟲友,我做的是半導體的磁控濺射鍍膜,別人熱處理后都是因為結(jié)晶性變好,電阻率減小,為什么我的不論多少度的熱處理,熱處理時間是1小時,電阻率都是變大呢?仔細分析數(shù)據(jù),霍爾遷移率是增大的,但是載流子濃度減小很多,應該是載流子濃度減小導致的電阻率增大。 請問有沒有有類似實驗結(jié)果的蟲友,怎么才能解釋熱處理導致的載流子濃度減小呢? |
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