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熱處理后電阻率為什么變大
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各位蟲友，我做的是半導(dǎo)體的磁控濺射鍍膜，別人熱處理后都是因?yàn)榻Y(jié)晶性變好，電阻率減小，為什么我的不論多少度的熱處理，熱處理時(shí)間是1小時(shí)，電阻率都是變大呢？仔細(xì)分析數(shù)據(jù)，霍爾遷移率是增大的，但是載流子濃度減小很多，應(yīng)該是載流子濃度減小導(dǎo)致的電阻率增大。 請問有沒有有類似實(shí)驗(yàn)結(jié)果的蟲友，怎么才能解釋熱處理導(dǎo)致的載流子濃度減小呢？ |
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longwangye
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6樓2011-12-07 12:59:37
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