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淺藍深藍銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助關(guān)于磁控濺射的問題
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請問各位蟲友： 用磁控濺射儀有沒有什么辦法濺射掉基板表層的膜后（如氧化膜），再濺射靶材物質(zhì)，（基質(zhì)太過活潑，如果用其他的方法去掉表層后，遇空氣后又立即氧化，嚴重影響性能）。 據(jù)老板說加負偏壓可以解決問題，本人剛接觸學(xué)術(shù)研究，才疏學(xué)淺，不知道是什么意思，不知道有沒有明白這個問題的高人，或者大家有什么方法沒？ 這個是不是就是“自濺射”，自濺射又是什么意思呢？ 多謝賜教啊~~~ [ Last edited by 淺藍深藍 on 2011-12-11 at 21:14 ] |
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