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淺藍(lán)深藍(lán)銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助關(guān)于磁控濺射的問題
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請問各位蟲友： 用磁控濺射儀有沒有什么辦法濺射掉基板表層的膜后（如氧化膜），再濺射靶材物質(zhì)，（基質(zhì)太過活潑，如果用其他的方法去掉表層后，遇空氣后又立即氧化，嚴(yán)重影響性能）。 據(jù)老板說加負(fù)偏壓可以解決問題，本人剛接觸學(xué)術(shù)研究，才疏學(xué)淺，不知道是什么意思，不知道有沒有明白這個問題的高人，或者大家有什么方法沒？ 這個是不是就是“自濺射”，自濺射又是什么意思呢？ 多謝賜教啊~~~ [ Last edited by 淺藍(lán)深藍(lán) on 2011-12-11 at 21:14 ] |
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淺藍(lán)深藍(lán)(金幣+2): 2011-12-13 13:32:23
| 負(fù)偏壓也叫反濺射就是他基材作為負(fù)極，讓氬離子轟擊基材打掉基材上的東西，我們用反濺射來清洗基材 |
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淺藍(lán)深藍(lán)5樓2011-12-12 23:04:28
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淺藍(lán)深藍(lán)(金幣+2): 2011-12-13 13:32:14
| 濺射氧化層得用射頻源，因為一般的氧化物都是不導(dǎo)電的，用之流的話很難產(chǎn)生穩(wěn)定的電場的，至于加負(fù)偏壓的話不確定是否可以將之濺掉。 |
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4樓2011-12-12 17:30:44
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