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wjfjs2cd銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于電子束蒸發(fā)
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| 電子束蒸發(fā)鍍ITO,用的是陶瓷靶,不導(dǎo)電的,那么電子打到陶瓷靶上就越積越多了,那堆積的電子最終哪里去了? |

版主 (文壇精英)
有尾巴的青蛙
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電荷積累到一定程度會打弧放電,否則電子束蒸發(fā)就無法實(shí)現(xiàn)了。 參見: 電荷的積累會發(fā)生打弧現(xiàn)象。一種打弧現(xiàn)象是靶面上的微觀打弧,即當(dāng)介質(zhì)層表面的電荷積累到一定程度,介質(zhì)層被擊穿造成的打弧...... https://www.deproducts.com/newsshow.asp-id=50&big=1 在電子束蒸發(fā)鍍膜過程中,如果靶材的電阻率過大,在靶材表面集聚大量電荷,從而會引起靶材放電現(xiàn)象.... 總13/49頁(論文第8頁) https://www.docin.com/p-177413162.html |

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