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wjfjs2cd銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于電子束蒸發(fā)
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| 電子束蒸發(fā)鍍ITO，用的是陶瓷靶，不導(dǎo)電的，那么電子打到陶瓷靶上就越積越多了，那堆積的電子最終哪里去了？ |
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qfw_68
版主 (文壇精英)
有尾巴的青蛙
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【答案】應(yīng)助回帖
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電荷積累到一定程度會(huì)打弧放電，否則電子束蒸發(fā)就無法實(shí)現(xiàn)了。 參見： 電荷的積累會(huì)發(fā)生打弧現(xiàn)象。一種打弧現(xiàn)象是靶面上的微觀打弧，即當(dāng)介質(zhì)層表面的電荷積累到一定程度，介質(zhì)層被擊穿造成的打弧...... https://www.deproducts.com/newsshow.asp-id=50&big=1 在電子束蒸發(fā)鍍膜過程中，如果靶材的電阻率過大，在靶材表面集聚大量電荷，從而會(huì)引起靶材放電現(xiàn)象.... 總13/49頁(論文第8頁） https://www.docin.com/p-177413162.html |
2樓2011-12-13 06:01:37
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