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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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yanglw23

銅蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
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注冊: 2011-03-01
專業(yè): 結(jié)構(gòu)陶瓷

[求助] CVD法沉積BN所用質(zhì)量流量計

我所用的氣源為BCl3和氨氣，請問該用什么樣的質(zhì)量流量計比較合適，我想買個好一點的質(zhì)量流量計，能夠?qū)庠吹牧髁窟M(jìn)行精確控制，好像有那種電腦控制的流量計，不知有誰用過？

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1樓 2012-02-03 13:14:14

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yexinyu

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專業(yè): 內(nèi)流流體力學(xué)

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zhangquan8385(金幣+1): 鼓勵，請站內(nèi)聯(lián)系，勿回帖廣告。 2012-02-04 09:07:06
zhangquan8385:編輯內(nèi)容 2012-02-04 09:07

像這兩種氣體，一般都用金屬密封的產(chǎn)口來控制，非金屬密封的MFC在使用長時間后，密封圈及傳感器會有所腐蝕！我們有相關(guān)的自己組裝的產(chǎn)品及原裝進(jìn)口的產(chǎn)品提供！深圳弗羅邁測控系統(tǒng)有限公司

[ Last edited by zhangquan8385 on 2012-2-4 at 09:07 ]

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