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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 無機非金屬 » 陶瓷材料 » CVD法沉積BN所用質量流量計
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[求助]
CVD法沉積BN所用質量流量計
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| 我所用的氣源為BCl3和氨氣，請問該用什么樣的質量流量計比較合適，我想買個好一點的質量流量計，能夠對氣源的流量進行精確控制，好像有那種電腦控制的流量計，不知有誰用過？ |
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2樓2012-02-04 09:00:14
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