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darswinxie新蟲 (小有名氣)
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[求助]
掃描電鏡實(shí)驗(yàn)測試發(fā)現(xiàn)問題了，怎么辦？？
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請教各位高手，發(fā)射電流偏低怎么辦 我是一菜鳥，用的是日立S3400N II型鎢燈絲掃描電鏡，換燈絲以后，發(fā)射電流（Emission current)很低，大多數(shù)時(shí)候只在50多ua，30KV時(shí)甚至只有40多，而Fiament可以調(diào)到90以上，gun bias已調(diào)到1，2 的樣子，發(fā)射電流仍上不去，請教各位，是何原因？該如何調(diào)節(jié)？ 有時(shí)甚至?xí)辛惆l(fā)射，要求檢查filmant ,但幾秒鐘后又回到20、30多ua，不過最高也只有60不到點(diǎn)，是何原因。請各位不吝賜教啊，謝謝！ |
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4樓2012-02-19 21:13:03
yuquanyao
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2樓2012-02-18 15:12:43
yinsh1212
銅蟲 (小有名氣)
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3樓2012-02-18 19:36:56
【答案】應(yīng)助回帖
★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
yuquanyao: 金幣+1, 感謝應(yīng)助、 2012-04-18 12:05:10
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yuquanyao: 金幣+1, 感謝應(yīng)助、 2012-04-18 12:05:10
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你的情況是燈絲尖端太外凸的結(jié)果。理論上和你的實(shí)驗(yàn)結(jié)果也是類似的。 有些情況為了挖掘鎢燈絲SEM的分辨率潛能，需要減小燈絲到柵帽的距離。此時(shí)發(fā)射束流會(huì)減小，減小電子束能量分散，降低透鏡色差；燈絲飽和溫度會(huì)提高，電子槍亮度會(huì)相比正常狀態(tài)提高不少。燈絲壽命會(huì)相對減少。 一般使用：注意調(diào)節(jié)燈絲高度到相對標(biāo)準(zhǔn)的距離，如果是重焊燈絲，誤差較大，可不比太過計(jì)較短長！使用非常熟悉的樣品，在固定的條件下裝載燈絲，通過偏壓調(diào)節(jié)，來確定基本一致的亮度即可！ |
5樓2012-04-18 08:43:45
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