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[交流] 薄膜電阻和晶化的關(guān)系

薄膜的電阻和薄膜結(jié)晶與否有沒關(guān)系，有什么樣的關(guān)系

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1樓 2012-02-20 16:09:39

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csa5344235

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肯定是有關(guān)系的��！非晶態(tài)的薄膜用什么導(dǎo)電？

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2樓2012-02-20 21:08:08

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zpawl

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薄膜結(jié)晶度越好，電阻越小吧

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3樓2012-02-20 23:27:01

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對(duì)半導(dǎo)體來(lái)說(shuō)，一般是晶體質(zhì)量越好、晶粒尺寸越大，那么晶界就越少，載流子被晶界散射的幾率就越低，遷移率就越高。先是遷移率影響電阻率，到了比較大的晶粒尺寸時(shí)，電活性雜質(zhì)濃度的影響就開始顯著了。但只考慮結(jié)晶的話，應(yīng)該是結(jié)晶越好，電阻率越低。

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4樓2012-02-21 10:21:11

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gcdxxiaona

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夕陽(yáng)西下: 判斷絕緣性主要是看能帶結(jié)構(gòu)。 2012-02-21 21:33:03

引用回帖:

4樓: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 10:21:11:
對(duì)半導(dǎo)體來(lái)說(shuō)，一般是晶體質(zhì)量越好、晶粒尺寸越大，那么晶界就越少，載流子被晶界散射的幾率就越低，遷移率就越高。先是遷移率影響電阻率，到了比較大的晶粒尺寸時(shí)，電活性雜質(zhì)濃度的影響就開始顯著了。但只考慮結(jié) ...

非晶的就是絕緣的嗎？就是還未晶化的半導(dǎo)體就是絕緣的嗎？

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5樓2012-02-21 10:34:20

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5樓: Originally posted by gcdxxiaona at 2012-02-21 10:34:20:
非晶的就是絕緣的嗎？就是還未晶化的半導(dǎo)體就是絕緣的嗎？

可以認(rèn)為是絕緣的，但前提是雜質(zhì)濃度很低，而且溫度不高。。

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6樓2012-02-21 22:57:43

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bytianping

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引用回帖:

6樓: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 23:57:43:
可以認(rèn)為是絕緣的，但前提是雜質(zhì)濃度很低，而且溫度不高。。

不能簡(jiǎn)單地這么說(shuō)，有很多前提條件，比如：具有一定禁帶寬度的半導(dǎo)體，未摻雜（本征態(tài)），非高溫條件下。很多窄禁帶或者半金屬非晶薄膜即使未摻雜在室溫下也是導(dǎo)電的。很典型的例子是TiN，非晶的導(dǎo)電性也近似金屬。

[ Last edited by bytianping on 2012-2-22 at 15:51 ]

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7樓2012-02-22 14:47:24

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diamondfire

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取決于薄膜的導(dǎo)電機(jī)制。
非晶存在空位，缺陷，自由體積，短程序破壞躍遷的選擇性（k矢量分布比較混亂）這些都可能成為增加導(dǎo)電能力的通路。
當(dāng)然，對(duì)于原本是導(dǎo)體的情況，這個(gè)上述討論又往往得出相反的結(jié)論，因?yàn)樯鲜鲆蛩爻３?huì)形成散射中心、俘獲中心，阻礙電子輸運(yùn)，增大電阻。

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8樓2012-02-22 17:17:18

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foxs1

禁言 (初入文壇)

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9樓2012-02-25 17:43:45

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