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CSMCHJ擴(kuò)散部工藝培訓(xùn)（很好很強(qiáng)大）
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CSMCHJ擴(kuò)散部工藝培訓(xùn) ----主要設(shè)備、熱氧化、擴(kuò)散、合金 擴(kuò)散部按車間劃分主要由擴(kuò)散區(qū)域及注入?yún)^(qū)域組成，其中擴(kuò)散區(qū)域又分?jǐn)U散老區(qū)和擴(kuò)散新區(qū)。擴(kuò)散區(qū)域按工藝分，主要有熱氧化、擴(kuò)散、LPCVD、合金、清洗、沾污測(cè)試等六大工藝。本文主要介紹熱氧化、擴(kuò)散及合金工藝....等等。 |
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2012-02-20 20:54:25, 543.5 K
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9樓2015-12-02 21:20:25
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浪子小哥2樓
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