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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 半導體 » CSMCHJ擴散部工藝培訓（很好很強大）
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CSMCHJ擴散部工藝培訓（很好很強大）
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CSMCHJ擴散部工藝培訓 ----主要設備、熱氧化、擴散、合金 擴散部按車間劃分主要由擴散區(qū)域及注入?yún)^(qū)域組成，其中擴散區(qū)域又分擴散老區(qū)和擴散新區(qū)。擴散區(qū)域按工藝分，主要有熱氧化、擴散、LPCVD、合金、清洗、沾污測試等六大工藝。本文主要介紹熱氧化、擴散及合金工藝....等等。 |
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2012-02-20 20:54:25, 543.5 K
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