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mseyj金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
請(qǐng)教SEM與AFM與FIB的區(qū)別與聯(lián)系
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大家好！ sem是掃描電子顯微鏡，afm是原子力顯微鏡，fib是聚焦粒子束顯微鏡。 可是我不清楚的是，他們的優(yōu)劣點(diǎn)到底是什么呢？ 就是 什么情況下，用哪種電鏡好呢？ 希望高手解答阿，謝謝~ |
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wbcui
至尊木蟲(chóng) (知名作家)
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
悠然zx11: 金幣+1, 多謝參與 ，鼓勵(lì)詳細(xì)交流^0^ 2012-04-01 22:28:28
mseyj: 金幣+5 2012-05-11 19:54:12
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mseyj: 金幣+5 2012-05-11 19:54:12
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SEM這個(gè)大家比較了解，一般看表面形貌，對(duì)樣品的損害程度不大 AFM是看表面粗糙度，如果比較比較粗糙的話（比如拋光后）對(duì)結(jié)果影響會(huì)比較大，一般用來(lái)看剛制備出的薄膜的表面形貌、粗糙度，因?yàn)闃悠肺幢晃廴?br /> FIB也可以用來(lái)看樣品形貌，但我覺(jué)得更多的是用來(lái)做樣品的微加工，應(yīng)FIB看樣品表面的話，會(huì)對(duì)表面有損傷，因?yàn)橛玫氖蔷劢闺x子束，長(zhǎng)時(shí)間打在樣品表面會(huì)產(chǎn)生類(lèi)似濺射的效果 補(bǔ)充一下：貌似三者產(chǎn)生的粒子束源也不一樣，SEM是電子，F(xiàn)IB貌似是Ga離子，AFM不用離子吧，是靠隧穿或者類(lèi)似的效應(yīng)，依靠離表面遠(yuǎn)近不同而產(chǎn)生的電信號(hào)成相、 [ Last edited by wbcui on 2012-4-1 at 13:37 ] |
2樓2012-02-23 10:23:19
迷路的老馬
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【答案】應(yīng)助回帖
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悠然zx11: 金幣+1, 多謝參與應(yīng)助~歡迎常來(lái) 2012-04-01 22:28:47
mseyj: 金幣+5, ★有幫助 2012-05-11 19:54:19
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悠然zx11: 金幣+1, 多謝參與應(yīng)助~歡迎常來(lái) 2012-04-01 22:28:47
mseyj: 金幣+5, ★有幫助 2012-05-11 19:54:19
| sem測(cè)樣之前是不是要對(duì)樣品進(jìn)行處理（比如噴金：對(duì)于不導(dǎo)電的材料），AFM是掃描探針顯微鏡（SPM）的一種，優(yōu)點(diǎn)是可以用來(lái)檢測(cè)不導(dǎo)電的材料，如：生物材料，缺點(diǎn)是只能進(jìn)行表面分析，要看內(nèi)部結(jié)構(gòu)應(yīng)該用透射電鏡吧。第三種沒(méi)用過(guò)。 |
3樓2012-04-01 10:05:06
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