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mseyj金蟲 (小有名氣)
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[求助]
請教SEM與AFM與FIB的區(qū)別與聯(lián)系
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大家好! sem是掃描電子顯微鏡,afm是原子力顯微鏡,fib是聚焦粒子束顯微鏡。 可是我不清楚的是,他們的優(yōu)劣點到底是什么呢? 就是 什么情況下,用哪種電鏡好呢? 希望高手解答阿,謝謝~ |
表征與測試分析 | 原子力顯微鏡(AFM)資源及問題集錦 |

金蟲 (初入文壇)
| sem測樣之前是不是要對樣品進行處理(比如噴金:對于不導(dǎo)電的材料),AFM是掃描探針顯微鏡(SPM)的一種,優(yōu)點是可以用來檢測不導(dǎo)電的材料,如:生物材料,缺點是只能進行表面分析,要看內(nèi)部結(jié)構(gòu)應(yīng)該用透射電鏡吧。第三種沒用過。 |

至尊木蟲 (知名作家)
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SEM這個大家比較了解,一般看表面形貌,對樣品的損害程度不大 AFM是看表面粗糙度,如果比較比較粗糙的話(比如拋光后)對結(jié)果影響會比較大,一般用來看剛制備出的薄膜的表面形貌、粗糙度,因為樣品未被污染 FIB也可以用來看樣品形貌,但我覺得更多的是用來做樣品的微加工,應(yīng)FIB看樣品表面的話,會對表面有損傷,因為用的是聚焦離子束,長時間打在樣品表面會產(chǎn)生類似濺射的效果 補充一下:貌似三者產(chǎn)生的粒子束源也不一樣,SEM是電子,F(xiàn)IB貌似是Ga離子,AFM不用離子吧,是靠隧穿或者類似的效應(yīng),依靠離表面遠近不同而產(chǎn)生的電信號成相、 [ Last edited by wbcui on 2012-4-1 at 13:37 ] |
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