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yy19881123新蟲 (初入文壇)
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[求助]
PZT薄膜的退火問題
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| 最近剛接觸PZT薄膜的制備,想請教一下溶膠-凝膠法制備PZT薄膜退火時是先把樣品放進爐中升到預定溫度還是等爐升到預定溫度后再把樣品放進去?比如650℃退火5min,是把樣品放進爐內升到650℃保溫5min還是等爐升到650℃時再把樣品放進去5min后取出來? |
PZT討論 |
銀蟲 (初入文壇)

新蟲 (初入文壇)
木蟲 (正式寫手)
| 溶膠凝膠法,建議你先在400度以下保溫片刻,然后迅速升溫至650度,其間注意要在氧氣氣氛中完成。這既可以避免產生燒綠石相又可以保證薄膜的致密性,還可以盡可能抑制PbO的揮發(fā)。 |

鐵桿木蟲 (初入文壇)
新蟲 (初入文壇)
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木蟲 (正式寫手)
MEMS小學生

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