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yy19881123新蟲 (初入文壇)
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[求助]
PZT薄膜的退火問題
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| 最近剛接觸PZT薄膜的制備,想請(qǐng)教一下溶膠-凝膠法制備PZT薄膜退火時(shí)是先把樣品放進(jìn)爐中升到預(yù)定溫度還是等爐升到預(yù)定溫度后再把樣品放進(jìn)去?比如650℃退火5min,是把樣品放進(jìn)爐內(nèi)升到650℃保溫5min還是等爐升到650℃時(shí)再把樣品放進(jìn)去5min后取出來(lái)? |
PZT討論 |
木蟲 (正式寫手)
MEMS小學(xué)生

銀蟲 (初入文壇)
| 先升溫到650℃,然后再把樣品放進(jìn)去,之前我們就是這個(gè)退火的 |

新蟲 (初入文壇)
木蟲 (正式寫手)
| 溶膠凝膠法,建議你先在400度以下保溫片刻,然后迅速升溫至650度,其間注意要在氧氣氣氛中完成。這既可以避免產(chǎn)生燒綠石相又可以保證薄膜的致密性,還可以盡可能抑制PbO的揮發(fā)。 |

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