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zyy3838z新蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
膜層制備與刻蝕
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本實(shí)驗(yàn)室可以進(jìn)行 磁 控 濺 射、電 子 束 蒸 鍍、LPCVD鍍膜加工，材料包括Si, SiO2, Si3N4, ZnO, AZO,Al2O3, Al, Ag, Au, Cu, Cr, Mo等，厚度一般在15-1000nm。 有晶振可同步進(jìn)行膜厚測(cè)試，4英寸范圍內(nèi)不均勻性<5%。 IBE、RIE刻蝕，可刻蝕各種金屬、非金屬材料。 趙工 zyy44138172@126.com 15108299816 |
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