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lzb7758520鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[交流]
【求助】氫氟酸刻蝕硅片,粗糙度是怎么變化的。 已有12人參與
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我最近想用10%氫氟酸刻蝕下硅片形成一定的粗糙度,可是文獻(xiàn)中說法不一樣啊,有的說隨時間延長粗糙度會越來越大,有的說基本保持不變,到底哪個對?我針對的是拋光面。 不知誰有相關(guān)的文獻(xiàn)提供下。 [ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ] |

鐵桿木蟲 (著名寫手)

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金蟲 (正式寫手)
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(100)/(111)的刻蝕選擇比非常大,因此隨著時間的延長幾乎不會有什么變化,如果需要變粗糙,需要加電場,具體可以查閱相關(guān)資料或者給我E-mail,我做過這方面工作,了解一些。 wanglurong1985@yahoo.com.cn |
銀蟲 (正式寫手)
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