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lzb7758520鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[交流]
【求助】氫氟酸刻蝕硅片，粗糙度是怎么變化的�。� 已有12人參與
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我最近想用10%氫氟酸刻蝕下硅片形成一定的粗糙度，可是文獻(xiàn)中說法不一樣啊，有的說隨時(shí)間延長粗糙度會越來越大，有的說基本保持不變，到底哪個(gè)對�。课裔槍Φ氖菕伖饷�。 不知誰有相關(guān)的文獻(xiàn)提供下。 [ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ] |
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5樓2011-03-17 10:59:31
lzb7758520
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12樓2011-03-25 23:23:46
wanglurong1985
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（100）/（111）的刻蝕選擇比非常大，因此隨著時(shí)間的延長幾乎不會有什么變化，如果需要變粗糙，需要加電場，具體可以查閱相關(guān)資料或者給我E-mail，我做過這方面工作，了解一些。 wanglurong1985@yahoo.com.cn |
16樓2011-06-13 17:18:35
cyjpu
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2樓2011-03-16 16:26:26
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