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lzb7758520鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[交流]
【求助】氫氟酸刻蝕硅片，粗糙度是怎么變化的��？ 已有12人參與
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我最近想用10%氫氟酸刻蝕下硅片形成一定的粗糙度，可是文獻(xiàn)中說(shuō)法不一樣啊，有的說(shuō)隨時(shí)間延長(zhǎng)粗糙度會(huì)越來(lái)越大，有的說(shuō)基本保持不變，到底哪個(gè)對(duì)��？我針對(duì)的是拋光面。 不知誰(shuí)有相關(guān)的文獻(xiàn)提供下。 [ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ] |
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vmuch520
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4樓2011-03-17 09:29:47
cyjpu
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2樓2011-03-16 16:26:26
lzb7758520
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3樓2011-03-16 20:14:58
5樓2011-03-17 10:59:31
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