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[求助]
薄膜厚度測(cè)量
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| 玻璃上鍍3層膜，大概幾百納米的厚度，如果要精確測(cè)量膜厚，該怎么測(cè)量？ |
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鐵桿木蟲 (著名寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
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臺(tái)階儀和原子力顯微鏡都可以做 原子力需要比較好的邊界，這樣才準(zhǔn)確。 要想測(cè)量每一層的厚度，可以按照樓上 說的，做截面然后SEM，這個(gè)非常精準(zhǔn)。 或者在鍍膜時(shí)有準(zhǔn)備，一層一層能在俯視圖 上分開，這樣臺(tái)階儀和原子力也能測(cè)單獨(dú)膜厚了。 |
7樓2012-04-01 23:22:43
lwj1024
木蟲 (小有名氣)
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洋洋njust2樓2012-04-01 16:31:05
3樓2012-04-01 16:44:01
crocodilecel
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4樓2012-04-01 19:31:57
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