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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 合成表征 » 薄膜厚度測量
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[求助]
薄膜厚度測量
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| 玻璃上鍍3層膜，大概幾百納米的厚度，如果要精確測量膜厚，該怎么測量？ |
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洋洋njust2樓2012-04-01 16:31:05
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4樓2012-04-01 19:31:57
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5樓2012-04-01 20:48:48
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【答案】應(yīng)助回帖
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臺階儀和原子力顯微鏡都可以做 原子力需要比較好的邊界，這樣才準(zhǔn)確。 要想測量每一層的厚度，可以按照樓上 說的，做截面然后SEM，這個非常精準(zhǔn)。 或者在鍍膜時有準(zhǔn)備，一層一層能在俯視圖 上分開，這樣臺階儀和原子力也能測單獨膜厚了。 |
7樓2012-04-01 23:22:43
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【答案】應(yīng)助回帖
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這個你應(yīng)該是知道材料大致的光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))和大概的厚度范圍的，這樣你可以建立sub/F1/F2/F3/air模型擬合得到，這個得到的光學(xué)概念的厚度。 另外可以使用SIMS來測定，這個測定的也可以用，不過國內(nèi)能測的地方不多。 用斷面SEM測定不太準(zhǔn)，因為不是每個的界面都很明顯。 如果你有單層的樣品，可以使用臺階儀，如果已經(jīng)三層復(fù)合，臺階儀只能測中厚度。 希望對你有幫助，你可以說得更加詳細(xì)一些。 |
8樓2012-04-02 01:58:27
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10樓2012-04-03 18:23:48
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