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[求助]
薄膜厚度測(cè)量
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| 玻璃上鍍3層膜，大概幾百納米的厚度，如果要精確測(cè)量膜厚，該怎么測(cè)量？ |
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yuan999
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
洋洋njust: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-04-09 15:18:48
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
洋洋njust: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-04-09 15:18:48
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1. 可以做個(gè)截面，然后測(cè)試SEM，如果截面做的好的話，應(yīng)該很容易和準(zhǔn)確測(cè)試出薄膜的厚度； 2. 臺(tái)階儀，要做好臺(tái)階，然后測(cè)試，多選幾個(gè)點(diǎn)，求平均，這樣要準(zhǔn)確點(diǎn)。 當(dāng)然，還可以用橢偏儀，不過這種儀器要有合適的模型，而且要懂得擬合，才可以準(zhǔn)確算出膜厚，而且很多單位沒有這種儀器。 |
9樓2012-04-02 09:46:25
lwj1024
木蟲 (小有名氣)
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洋洋njust2樓2012-04-01 16:31:05
3樓2012-04-01 16:44:01
crocodilecel
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4樓2012-04-01 19:31:57
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