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[交流]
光刻掩模版 已有2人參與
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請教下，光刻時(shí)掩模版上的掩模層一般為什么呢？ 我在石英基板上沉積的Ag掩模層，在顯微鏡下發(fā)現(xiàn)有微孔。 此外，直接用鐵板掩模行不行，就是需要掩模的那個(gè)位置有鐵板，其他地方為空。 |
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4樓2012-04-18 23:53:04
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2012-04-19 11:39:24, 205.29 K
6樓2012-04-19 11:39:40
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