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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 交流互助 » 光刻掩模版
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光刻掩模版 已有2人參與
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請教下，光刻時掩模版上的掩模層一般為什么呢？ 我在石英基板上沉積的Ag掩模層，在顯微鏡下發(fā)現(xiàn)有微孔。 此外，直接用鐵板掩模行不行，就是需要掩模的那個位置有鐵板，其他地方為空。 |
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2樓2012-04-16 21:08:20
3樓2012-04-16 21:49:12
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2012-04-19 11:39:24, 205.29 K
6樓2012-04-19 11:39:40
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