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PLD靶材-BZY怎么燒致密
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| 想自己燒結(jié)PLD濺射的靶材——BZY。本身這種材料就不容易致密,現(xiàn)在壓靶后要求厚度增加就更難燒結(jié)致密,而且壓片燒結(jié)后還會(huì)有分層現(xiàn)象。求各位大神給予幫助啊。PLD靶材一定要很致密的嗎? |
磁控濺射靶材資料大全 |
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