Clarence_Lan

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[交流] 壓電陶瓷電極的鍍法

各位木木大神，我設(shè)計(jì)了一個(gè)壓電陶瓷，電極部分如圖陰影部分所示，不知道能用什么方法涂上去�，F(xiàn)在知道涂電極的方法有絲網(wǎng)刷銀漿，化學(xué)鍍，真空鍍膜這些方法。我之前用了第一種方法，用鋼網(wǎng)（據(jù)說鋼網(wǎng)比絲網(wǎng)好些，鋼網(wǎng)厚度0.1mm）做出了電極的形狀，然后刷上了導(dǎo)電銀膠（因?yàn)槲业腜ZT廠家已經(jīng)極化，為了不退極化，用了113°熱固化的導(dǎo)電銀膠），但是因?yàn)閴弘娞沾杀旧砗苄。▓D中單位為mm），所以刷上去的導(dǎo)電銀膠厚度相對(duì)有點(diǎn)大，影響了振動(dòng)性能�，F(xiàn)在想考了化學(xué)鍍、真空鍍的方法，但是查了好像只能鍍整個(gè)面吧，沒法只鍍圖中這部分面積。我現(xiàn)在能想到的辦法就是鍍好整個(gè)面之后，用小刀把外面這部分刮掉，或者用磨床，不過對(duì)磨床一點(diǎn)概念都沒有，也不知道哪個(gè)地方能做。求助各位，看看我用小刀的方法行不行？能不能用磨床，有這么小或者精度這么高的磨床嗎？還有沒有其它辦法啊？

壓電陶瓷和電極部分

[ Last edited by Clarence_Lan on 2012-4-28 at 11:02 ]

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1樓 2012-04-28 10:55:42

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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-05-06 08:21:32

用磁控濺射唄，將電極掩模板覆蓋在陶瓷上，然后固定好就行了，你可以問問周邊做鐵電薄膜的人，他們做點(diǎn)電極就是這樣做的，并且磁控濺射鍍電極時(shí)只要速率慢一些，不會(huì)使陶瓷過熱而退極化

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2樓2012-04-28 19:05:58

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jkcls

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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

濺射全電極，用絲網(wǎng)印刷油墨把需要電極的部位保護(hù)好，然后腐蝕掉不需要的電極，再把油墨清洗掉就OK了。

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8樓2012-05-03 08:00:41

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蔣青松: 金幣+1, 感謝專家顧問回帖哈 2012-05-06 08:22:15

絲網(wǎng)印刷,mlcc都是用此法的

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3樓2012-04-28 20:59:51

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3樓: Originally posted by 封神之神 at 2012-04-28 20:59:51:
絲網(wǎng)印刷,mlcc都是用此法的

你的意思是mlcc是用絲網(wǎng)印刷嗎？現(xiàn)在問題是絲網(wǎng)印刷厚度有點(diǎn)大，對(duì)我這個(gè)PZT不大適合啊

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4樓2012-04-29 15:12:43

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2樓: Originally posted by fly_feiyu at 2012-04-28 19:05:58:
用磁控濺射唄，將電極掩模板覆蓋在陶瓷上，然后固定好就行了，你可以問問周邊做鐵電薄膜的人，他們做點(diǎn)電極就是這樣做的，并且磁控濺射鍍電極時(shí)只要速率慢一些，不會(huì)使陶瓷過熱而退極化

你好，請(qǐng)問要點(diǎn)是不是在于必需要個(gè)掩膜版遮擋不需鍍膜的部分，然后無論是用磁控濺射還是真空鍍都可以給它鍍，你說的磁控濺射還有低溫不易退極化的特點(diǎn)呢？

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5樓2012-04-29 15:20:30

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磁控濺射是不是真空鍍的一種��？謝謝

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6樓2012-04-29 15:22:14

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4樓: Originally posted by Clarence_Lan at 2012-04-29 15:12:43:
你的意思是mlcc是用絲網(wǎng)印刷嗎？現(xiàn)在問題是絲網(wǎng)印刷厚度有點(diǎn)大，對(duì)我這個(gè)PZT不大適合啊

是的,絲網(wǎng)能印刷到幾微米

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7樓2012-04-29 21:36:00

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8樓: Originally posted by jkcls at 2012-05-03 08:00:41:
濺射全電極，用絲網(wǎng)印刷油墨把需要電極的部位保護(hù)好，然后腐蝕掉不需要的電極，再把油墨清洗掉就OK了。

呵呵，謝謝謝謝。聽起來不錯(cuò)，就是這么小的面積不知道能不能實(shí)現(xiàn)。

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9樓2012-05-05 16:27:29

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bscgq

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化學(xué)鍍是什么工藝？

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10樓2012-08-08 16:34:14

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絲印沒錯(cuò)的，可以選擇絲網(wǎng)目數(shù)，刮膠硬度等調(diào)整厚度！

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11樓2014-09-01 18:23:03

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