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Clarence_Lan

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[交流] 壓電陶瓷電極的鍍法

各位木木大神，我設(shè)計(jì)了一個(gè)壓電陶瓷，電極部分如圖陰影部分所示，不知道能用什么方法涂上去�，F(xiàn)在知道涂電極的方法有絲網(wǎng)刷銀漿，化學(xué)鍍，真空鍍膜這些方法。我之前用了第一種方法，用鋼網(wǎng)（據(jù)說(shuō)鋼網(wǎng)比絲網(wǎng)好些，鋼網(wǎng)厚度0.1mm）做出了電極的形狀，然后刷上了導(dǎo)電銀膠（因?yàn)槲业腜ZT廠家已經(jīng)極化，為了不退極化，用了113°熱固化的導(dǎo)電銀膠），但是因?yàn)閴弘娞沾杀旧砗苄。▓D中單位為mm），所以刷上去的導(dǎo)電銀膠厚度相對(duì)有點(diǎn)大，影響了振動(dòng)性能�，F(xiàn)在想考了化學(xué)鍍、真空鍍的方法，但是查了好像只能鍍整個(gè)面吧，沒(méi)法只鍍圖中這部分面積。我現(xiàn)在能想到的辦法就是鍍好整個(gè)面之后，用小刀把外面這部分刮掉，或者用磨床，不過(guò)對(duì)磨床一點(diǎn)概念都沒(méi)有，也不知道哪個(gè)地方能做。求助各位，看看我用小刀的方法行不行？能不能用磨床，有這么小或者精度這么高的磨床嗎？還有沒(méi)有其它辦法�。�

壓電陶瓷和電極部分

[ Last edited by Clarence_Lan on 2012-4-28 at 11:02 ]

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1樓 2012-04-28 10:55:42

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封神之神

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蔣青松: 金幣+1, 感謝專家顧問(wèn)回帖哈 2012-05-06 08:22:15

絲網(wǎng)印刷,mlcc都是用此法的

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3樓2012-04-28 20:59:51

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fly_feiyu

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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-05-06 08:21:32

用磁控濺射唄，將電極掩模板覆蓋在陶瓷上，然后固定好就行了，你可以問(wèn)問(wèn)周邊做鐵電薄膜的人，他們做點(diǎn)電極就是這樣做的，并且磁控濺射鍍電極時(shí)只要速率慢一些，不會(huì)使陶瓷過(guò)熱而退極化

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2樓2012-04-28 19:05:58

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3樓: Originally posted by 封神之神 at 2012-04-28 20:59:51:
絲網(wǎng)印刷,mlcc都是用此法的

你的意思是mlcc是用絲網(wǎng)印刷嗎？現(xiàn)在問(wèn)題是絲網(wǎng)印刷厚度有點(diǎn)大，對(duì)我這個(gè)PZT不大適合啊

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4樓2012-04-29 15:12:43

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2樓: Originally posted by fly_feiyu at 2012-04-28 19:05:58:
用磁控濺射唄，將電極掩模板覆蓋在陶瓷上，然后固定好就行了，你可以問(wèn)問(wèn)周邊做鐵電薄膜的人，他們做點(diǎn)電極就是這樣做的，并且磁控濺射鍍電極時(shí)只要速率慢一些，不會(huì)使陶瓷過(guò)熱而退極化

你好，請(qǐng)問(wèn)要點(diǎn)是不是在于必需要個(gè)掩膜版遮擋不需鍍膜的部分，然后無(wú)論是用磁控濺射還是真空鍍都可以給它鍍，你說(shuō)的磁控濺射還有低溫不易退極化的特點(diǎn)呢？

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5樓2012-04-29 15:20:30

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