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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 基礎研究 » 求助 緊急求助 硝酸和光刻膠反應
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幸福少爺鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[求助]
求助 緊急求助 硝酸和光刻膠反應
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| 最近做光刻 用光刻膠做掩膜 硝酸加氫氟酸腐蝕Si 發(fā)現(xiàn)硝酸會跟光刻膠反應 生成一種跟襯底粘著很牢固的東西 用什么方法都去不掉 怎么解決 請哪位高手指教 |
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阮濤SJTU
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- 專業(yè): 半導體微納機電器件與系統(tǒng)
2樓2020-07-26 17:25:31
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