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hongliushu03鐵桿木蟲 (著名寫手)
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分享一篇綜述：MEMS用含能薄膜研究現(xiàn)狀及進(jìn)展 已有10人參與
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：在綜合分析國內(nèi)外含能薄膜相關(guān)文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，認(rèn)為金屬復(fù)合含能薄膜橋、含能半導(dǎo)體橋及納米多孔硅／氧化劑復(fù)合薄膜制作工藝與微機(jī)電系統(tǒng)（器件制備技術(shù)具有良好的兼容性，在此基礎(chǔ)上闡述了上述三種 薄膜材料的制備方法及輸出特性，認(rèn)為ＭＥＭＳ火工裝置為火工技術(shù)的發(fā)展提供了一個(gè)重要的研究方向隨著微納米材料技術(shù)的發(fā)展，新型微納米尺度的含能材料也隨之快速發(fā)展，特別是能夠?qū)崿F(xiàn)MEMS集成的微納米含能器件也方興未艾。這里提供一篇很有意思的綜述。[ Last edited by hongliushu03 on 2012-5-17 at 18:40 ] |
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2012-05-07 15:08:41, 1.09 M
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hongliushu03
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