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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 電化學 » 電分析測試 » 求助：如何測硅片的電導率
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cidly至尊木蟲 (正式寫手)
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[求助]
求助：如何測硅片的電導率
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如題，本人想測1cm*1cm大小硅片的薄層電阻和電導率，想用四探針法測，但是我查了資料，發(fā)現(xiàn)有如下公式： 1、 2、 3、 請問對于我想測的硅片，應該用什么公式？還是說有其他公式？ 然后就是，用四探針法測硅片電導率一定要做電極嗎？為什么要做電極呢？ PS.我對電測量不懂。剛接觸，實驗室人也不懂這塊。。。。無語中。。。 求高人。。求指點。。。不勝感謝，如能提供相關(guān)資料，更好 |
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Jackcd12
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【答案】應助回帖
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所以的電測量都需用電極連接，除了電場感應法外。 對Si表面電阻/電導測量，為減小電極與表面的接觸電阻對測試的影響，一般都采用四電極法，即將四個等距離排列的惰性金屬探針（或直接將電極沉積/粘貼）壓接在樣品表面，兩個外電極通電流，測量兩個內(nèi)電極上的電位差，再用公式2（取決于電極的排列）計算即可。 為了理解這一原理，推薦你看看一篇文章： http://wenku.baidu.com/view/f0cf6fea81c758f5f61f671f.html |
3樓2012-09-05 20:07:23
husz0012010
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2樓2012-09-05 17:06:04
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4樓2012-09-06 14:18:33
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【答案】應助回帖
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這里有個地址是關(guān)于四探針法測試硅單晶電阻率的，里面有F（W/S）、F（S/D）、Ft各個修正系數(shù)想對應的值和計算方法，希望對你有所幫助，有什么不懂的可以再問我。 http://ishare.iask.sina.com.cn/f/14182501.html?from=dl |
5樓2012-09-06 14:23:21
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