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chicktj新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
CIGS薄膜硒化的問(wèn)題
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| 我在鍍Mo的玻璃上采用磁控濺射預(yù)置層CIG然后用固體硒源硒化，但是發(fā)現(xiàn)硒化后薄膜表面有一些小針孔，對(duì)光看可以看到光透過(guò)來(lái)了，而且肯定是貫穿了Mo層的孔，如果硒化溫度高一點(diǎn)會(huì)發(fā)現(xiàn)出現(xiàn)的孔就會(huì)增大，很是費(fèi)解，請(qǐng)高人指點(diǎn)！ |
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 半導(dǎo)體薄膜制備及表征 |
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chenguang5895
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【答案】應(yīng)助回帖
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chicktj: 金幣+3 2012-06-05 22:42:32
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我覺(jué)得這個(gè)問(wèn)題是出在Mo的上面。1. CIGS的pinhole是很難用肉眼看到的。我曾經(jīng)用顯微鏡2000倍都看不到，但是用SEM就很容易看到的。 2. 既然透光，那就是Mo的問(wèn)題。如果Mo沒(méi)有做好，不僅僅是selenization，就是高溫也能使其peel-off。 想解決好這個(gè)問(wèn)題，第一要保證glass cleaning 的非常好，第二，Mo的sputtering要優(yōu)化的。 CIGS是個(gè)貴族的東西，一層做不好，整個(gè)device都不會(huì)work的。 good luck |
3樓2012-06-02 21:48:42
ly02468
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4樓2012-06-04 15:18:17
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5樓2012-06-05 22:45:30
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