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chicktj新蟲 (初入文壇)
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[求助]
CIGS薄膜硒化的問題
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| 我在鍍Mo的玻璃上采用磁控濺射預(yù)置層CIG然后用固體硒源硒化，但是發(fā)現(xiàn)硒化后薄膜表面有一些小針孔，對光看可以看到光透過來了，而且肯定是貫穿了Mo層的孔，如果硒化溫度高一點會發(fā)現(xiàn)出現(xiàn)的孔就會增大，很是費解，請高人指點！ |
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 半導(dǎo)體薄膜制備及表征 |
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chicktj
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我覺得這個問題是出在Mo的上面。1. CIGS的pinhole是很難用肉眼看到的。我曾經(jīng)用顯微鏡2000倍都看不到，但是用SEM就很容易看到的。 2. 既然透光，那就是Mo的問題。如果Mo沒有做好，不僅僅是selenization，就是高溫也能使其peel-off。 想解決好這個問題，第一要保證glass cleaning 的非常好，第二，Mo的sputtering要優(yōu)化的。 CIGS是個貴族的東西，一層做不好，整個device都不會work的。 good luck |
3樓2012-06-02 21:48:42
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4樓2012-06-04 15:18:17
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