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papaching新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
EBSD圖像不清楚的若干問(wèn)題
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頭一次做EBSD，對(duì)象是鎳基合金與低合金鋼的焊接熱影響區(qū)。之前小心翼翼地制備了試樣，基本是按網(wǎng)上搜到的TSL的suggested mechanical polishing sequence操作的，根據(jù)實(shí)際情況有略微改動(dòng)：砂紙120~2400+金剛石膏9~0.25um+石英硅乳膠體10min（此刻在光學(xué)顯微鏡下觀察，鎳基合金部分磨痕剛剛?cè)肯蓛簦秃辖痄摬糠忠蚧瘜W(xué)浸蝕而微微起伏的表面已清晰可見(jiàn)），可是圖像效果總是不甚滿(mǎn)意，遇到若干問(wèn)題，望各位大俠不吝賜教！ 首先，得到過(guò)的最好的IPF效果圖如下： http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/2e/4b/1800285_1339499520_585.jpg 掃描速度step=0.2micro。圖片上低合金部分還是有很多細(xì)微碎點(diǎn)，這是不是因?yàn)橹茦拥馁|(zhì)量還不夠好？或是因?yàn)樵嚇忧逑床怀浞�？�?yīng)該怎樣改進(jìn)呢？ 對(duì)了，我在制樣時(shí)發(fā)現(xiàn)石英硅乳膠體很難完全清洗干凈，尤其是試樣邊角容易殘留，我自己試過(guò)很多方法效果都不夠滿(mǎn)意，不知諸位有沒(méi)有什么高招？ 此外，同一個(gè)試樣，截取的另一區(qū)域的IPF圖卻是這種效果： http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/c3/84/1800285_1339499559_259.jpg 我不清楚這到底是制樣的原因還是掃描電鏡的問(wèn)題。按理說(shuō)同一個(gè)試樣，兩幅圖的相距大概2~3mm，表面不應(yīng)該相差這么大吧……從相對(duì)應(yīng)的基礎(chǔ)圖看出，掃描質(zhì)量很差，抖動(dòng)太多，這是怎么回事？是SEM沒(méi)設(shè)置好嗎？ http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/7d/e8/1800285_1339499565_992.jpg 相比上一幅IPF圖的基礎(chǔ)圖，差距實(shí)在太大了： http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/08/28/1800285_1339499551_502.jpg 而其他一些試樣的圖片也有類(lèi)似問(wèn)題，慘不忍睹： http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/04/ed/1800285_1339501206_308.jpg http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/41/30/1800285_1339501214_737.jpg 我懷疑除了制樣問(wèn)題，是不是在調(diào)試SEM的過(guò)程中，有被我忽略的重要調(diào)試環(huán)節(jié)（SEM我也才剛剛開(kāi)始用，還屬于菜鳥(niǎo)。我只是在選定準(zhǔn)備EBSD掃描的部位后，進(jìn)行一次光束中心位置調(diào)節(jié)以及aperture）……所以也想請(qǐng)教各位大俠，為了保證EBSD圖片的質(zhì)量，SEM操作過(guò)程中有什么特別需要注意的地方？ 在此先謝過(guò)諸位了��！ |
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2樓2012-06-13 16:23:44
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