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papaching新蟲 (初入文壇)
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[求助]
EBSD圖像不清楚的若干問題
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頭一次做EBSD,對(duì)象是鎳基合金與低合金鋼的焊接熱影響區(qū)。之前小心翼翼地制備了試樣,基本是按網(wǎng)上搜到的TSL的suggested mechanical polishing sequence操作的,根據(jù)實(shí)際情況有略微改動(dòng):砂紙120~2400+金剛石膏9~0.25um+石英硅乳膠體10min(此刻在光學(xué)顯微鏡下觀察,鎳基合金部分磨痕剛剛?cè)肯蓛,但低合金鋼部分因化學(xué)浸蝕而微微起伏的表面已清晰可見),可是圖像效果總是不甚滿意,遇到若干問題,望各位大俠不吝賜教! 首先,得到過的最好的IPF效果圖如下: http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/2e/4b/1800285_1339499520_585.jpg 掃描速度step=0.2micro。圖片上低合金部分還是有很多細(xì)微碎點(diǎn),這是不是因?yàn)橹茦拥馁|(zhì)量還不夠好?或是因?yàn)樵嚇忧逑床怀浞郑繎?yīng)該怎樣改進(jìn)呢? 對(duì)了,我在制樣時(shí)發(fā)現(xiàn)石英硅乳膠體很難完全清洗干凈,尤其是試樣邊角容易殘留,我自己試過很多方法效果都不夠滿意,不知諸位有沒有什么高招? 此外,同一個(gè)試樣,截取的另一區(qū)域的IPF圖卻是這種效果: http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/c3/84/1800285_1339499559_259.jpg 我不清楚這到底是制樣的原因還是掃描電鏡的問題。按理說同一個(gè)試樣,兩幅圖的相距大概2~3mm,表面不應(yīng)該相差這么大吧……從相對(duì)應(yīng)的基礎(chǔ)圖看出,掃描質(zhì)量很差,抖動(dòng)太多,這是怎么回事?是SEM沒設(shè)置好嗎? http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/7d/e8/1800285_1339499565_992.jpg 相比上一幅IPF圖的基礎(chǔ)圖,差距實(shí)在太大了: http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/08/28/1800285_1339499551_502.jpg 而其他一些試樣的圖片也有類似問題,慘不忍睹: http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/04/ed/1800285_1339501206_308.jpg http://edu.www.gaoyang168.com/attachment/41/30/1800285_1339501214_737.jpg 我懷疑除了制樣問題,是不是在調(diào)試SEM的過程中,有被我忽略的重要調(diào)試環(huán)節(jié)(SEM我也才剛剛開始用,還屬于菜鳥。我只是在選定準(zhǔn)備EBSD掃描的部位后,進(jìn)行一次光束中心位置調(diào)節(jié)以及aperture)……所以也想請(qǐng)教各位大俠,為了保證EBSD圖片的質(zhì)量,SEM操作過程中有什么特別需要注意的地方? 在此先謝過諸位了! |
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銀蟲 (小有名氣)
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