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liyuandong1銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
求問AZO薄膜電阻率問題
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1. 由于學(xué)校四探針檢測過程較漫長，因此希望能在實驗室粗略的測量一下AZO的導(dǎo)電性能是否良好。 求問，導(dǎo)電率良好的AZO薄膜，如果用萬用表測電阻，2個電極相隔1cm左右，顯示應(yīng)該為多少歐姆為佳。 2. 另外，采用直流非反應(yīng)濺射，一些樣品XRD檢測出來在31°左右有ZnAl2O4（鋁酸鋅）峰，不知道大家有遇到這種情況嗎，是靶材的問題嗎？ |
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liyuandong1
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