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[求助] 磁控濺射起輝正常卻沒(méi)有濺射物質(zhì)

這兩天做的磁控濺射鍍Al，起輝正常，但基片上卻沒(méi)有濺射物質(zhì)，這是怎么回事呢？各位大俠有沒(méi)有遇到這種情況，希望能提點(diǎn)一二啊，謝謝了

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1樓 2012-06-20 16:01:23

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有以下幾種可能：
1. 濺射的時(shí)候氣壓太高了，平均自由程太短，沉積速率非常低
2. 進(jìn)氣管道漏氣，氧氣含量太高，濺射率低
3. 濺射的時(shí)候氣壓太低了，你觀察到的輝光是氬氣的放電，并不是Al的輝光

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10樓2012-06-22 15:32:50

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dugu

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可能是腔中殘余O2比較多，Al等離子體被氧化了，Al2O3是透明的。
僅供樓主參考。

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書(shū)生老去機(jī)會(huì)方來(lái)

2樓2012-06-21 18:59:31

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jiajia1106

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3樓2012-06-21 19:22:00

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sciencemaji

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你確定里面沒(méi)有氧氣？看看細(xì)節(jié)。

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4樓2012-06-22 07:47:02

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2樓: Originally posted by dugu at 2012-06-21 18:59:31
可能是腔中殘余O2比較多，Al等離子體被氧化了，Al2O3是透明的。
僅供樓主參考。

謝謝，O2殘余應(yīng)該不多吧，本底真空都在2~4*10-4Pa，我之前也做過(guò)，很正常的，就是最近才出現(xiàn)這種問(wèn)題的

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5樓2012-06-22 09:47:48

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3樓: Originally posted by jiajia1106 at 2012-06-21 19:22:00
鍍鋁一般情況下都會(huì)出現(xiàn)這種情況的多試幾遍

我之前一直做的都很正常呢，就是最近才出現(xiàn)這種問(wèn)題的

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6樓2012-06-22 09:48:49

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4樓: Originally posted by sciencemaji at 2012-06-22 07:47:02
你確定里面沒(méi)有氧氣？看看細(xì)節(jié)。

應(yīng)該不會(huì)吧，真空度都在10-4數(shù)量級(jí)的

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7樓2012-06-22 09:50:13

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zju100

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佳好_悅緣: 金幣+1 2012-06-22 16:11:43

很可能是襯底接負(fù)極不好所致

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8樓2012-06-22 12:09:10

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zju100

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佳好_悅緣: 金幣+1 2012-06-22 16:12:27

很可能是襯底接負(fù)極不好所致，導(dǎo)致Al正離子無(wú)法沉積到襯底上。而這樣長(zhǎng)時(shí)間操作后的結(jié)果是，整個(gè)腔體充滿Al膜，變得很臟！

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9樓2012-06-22 12:11:26

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