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[交流]
磁控濺射鍍膜機(jī)腔體清理方法 已有1人參與
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| 長(zhǎng)時(shí)間鍍膜后，腔體內(nèi)比較臟，對(duì)抽氣速率、與薄膜性能有什么影響，怎樣清理比較好，NaOH溶液浸泡可以嗎，請(qǐng)指教 |
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dxf930
金蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
2樓2012-07-30 08:52:06
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